沈陽(yáng)凈化車(chē)間工程的氣流速度/通風(fēng)頻率一直是凈化車(chē)間工程設(shè)計(jì)中的一個(gè)關(guān)注點(diǎn)。隨著沈陽(yáng)凈化車(chē)間工程污染源控制效率的提高和末級(jí)過(guò)濾器效率的提高，已經(jīng)討論了相關(guān)規(guī)范和指南提出的推薦或標(biāo)準(zhǔn)值是否傳統(tǒng)。在實(shí)踐中，解決了FFU在應(yīng)用中擔(dān)心的噪音、損壞和維護(hù)問(wèn)題。隨著FFU的不斷完善，是否使用FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是一個(gè)熱點(diǎn):漂浮分子污染（AMC）微電子和IC行業(yè)的控制日益提及日程，備受關(guān)注。以下是對(duì)這些問(wèn)題的總結(jié)和分析。

在沈陽(yáng)凈化車(chē)間工程的一定潔凈度下，氣流速度的確定因沈陽(yáng)凈化車(chē)間工程的應(yīng)用而異。它不僅受室內(nèi)灰塵量和過(guò)濾效率的影響，還受其他因素的影響。就工業(yè)沈陽(yáng)凈化車(chē)間工程而言，影響潔凈度和判斷氣流速度的主要因素如下:

(1)室內(nèi)污染源:建筑零部件、人員數(shù)量、操作活動(dòng)、工藝設(shè)備、工藝材料、工藝加工本身等。都是塵粒釋放源，根據(jù)實(shí)際情況而異，變化很大；

(2)室內(nèi)氣流的種類(lèi)和分布:單向流需要均勻公平的流線，但會(huì)受到工藝設(shè)備布局、位置變化、人員活動(dòng)等的影響。，形成局部渦流；而不是單向流，需要充電和混合，防止盲點(diǎn)和溫度分層；

(3)自清潔時(shí)間(恢復(fù)時(shí)間)的控制要求:清潔室事故釋放或帶入污染物或氣流中斷或正常使用時(shí)間間歇性對(duì)流氣流或人與設(shè)備的運(yùn)動(dòng)會(huì)導(dǎo)致清潔度惡化，恢復(fù)到原來(lái)清潔度的自清潔時(shí)間取決于氣流速度；自清潔時(shí)間的控制要求取決于這個(gè)時(shí)間框架(在潔凈度惡化的情況下)對(duì)產(chǎn)品制造質(zhì)量和成品率的承受能力；